China boekt doorbraak in eigen chipmachines, druk op ASML groeit

Een tot voor kort onbekend Chinees staatsbedrijf heeft naar verluidt de eerste chipmachines met deep ultraviolet-technologie (DUV) geproduceerd. Dat melden ingewijden aan persbureau Reuters. De ontwikkeling raakt rechtstreeks aan de positie van het Nederlandse techbedrijf ASML, dat wereldwijd een dominante rol speelt in de productie van chipmachines. Achter het project schuilt de ambitie van de Chinese regering om volledig onafhankelijk te worden van westerse chiptechnologie.

Onbekend staatsbedrijf centraal in Chinese chipplannen
Het bedrijf achter de doorbraak heet Aishengna Electronic Technology Group en is gevestigd in Shanghai. De onderneming heeft geen website en heeft tot dusver niets over haar activiteiten bekendgemaakt. Aishengna werd in 2023 opgericht met omgerekend circa een miljard dollar aan kapitaal.

Volgens branchemedium The Information, dat als eerste over de ontwikkeling berichtte, wil Aishengna dit jaar vijf volledig Chinees geproduceerde DUV-lithografiemachines afleveren en volgend jaar ongeveer twintig. De machines gaan naar Chinese chipfabrikanten SMIC, Hua Hong Semiconductor en CXMT voor tests. Ze zijn nog niet geschikt voor grootschalige productie.

Hoe chipmachines chips maken
Chipmachines projecteren licht met een extreem korte golflengte op een siliciumschijf, een wafer. Lichtgevoelige chemicaliën branden zo microscopisch kleine onderdelen zoals transistoren en geleidebanen in het materiaal. Fabrikanten herhalen dit proces tot honderd keer, totdat een complete chip ontstaat.

DUV-lithografie gebruikt licht met een golflengte van enkele honderden nanometer. Bij de geavanceerdere EUV-techniek zijn de lichtgolven nog maar 13,5 nanometer lang, ongeveer vijfduizend keer dunner dan een mensenhaar. Een laser verhit hiervoor piepkleine tindruppels in een vacuüm vijftigduizend keer per seconde tot 200.000 graden Celsius.

ASML behoudt voorsprong met EUV-technologie
Wereldwijd beheersen slechts enkele bedrijven in Europa en Japan de DUV-technologie. Alleen ASML beschikt over de nog verder ontwikkelde EUV-lithografie, waarmee fabrikanten de nieuwste generaties microchips maken. Die technologische voorsprong maakte ASML met een beurswaarde van meer dan 550 miljard euro het meest waardevolle bedrijf van Europa. Eén machine kost tientallen tot honderden miljoenen euro's.

Om het extreem vluchtige EUV-licht te geleiden, gebruikt ASML tonnenzware spiegelsystemen van het Duitse Zeiss uit Jena. De reflectoren bestaan uit meer dan honderd lagen ultragladde materialen. Zeiss stelt dat de hoogste oneffenheid op de spiegels, opgeschaald naar de grootte van Duitsland, niet meer dan een tiende millimeter bedraagt.

Geheim EUV-project in Shenzhen
Naast de DUV-productielijn werkt China ook aan een eigen EUV-machine. In een geheim laboratorium in Shenzhen hebben wetenschappers volgens Reuters al een prototype gebouwd dat EUV-licht kan uitstralen, al zijn er nog geen werkende chips mee gemaakt. Peking rekruteerde voor dit project gepensioneerde ASML-ingenieurs met Chinese wortels en verwierf via tussenhandelaren onderdelen van oudere ASML-machines op de tweedehandsmarkt.

Volgens ingewijden heeft Peking de opdracht gegeven dat de machine uiterlijk in 2028 de eerste hightech chips moet produceren. Techbedrijf Huawei coördineert daarvoor een groot aantal ingenieurs bij toeleveranciers en staatsonderzoeksinstituten door het hele land. De betrokkenen omschreven de operatie tegenover Reuters als vergelijkbaar met het Amerikaanse Manhattanproject, waarmee de Verenigde Staten tijdens de Tweede Wereldoorlog de atoombom ontwikkelden.

De wetenschappers in Shenzhen werken volgens het bericht onder strenge beveiliging en valse namen. Ze slapen op kantoor, leveren hun telefoons in en werken onder cameratoezicht. Peking lokte hen met salarissen tot 700.000 dollar per jaar. De Nederlandse inlichtingendienst waarschuwde onlangs dat China omvangrijke spionageprogramma's inzet om hoogtechnologie en kennis uit westerse landen te verkrijgen, onder meer door westerse wetenschappers en medewerkers van hightechbedrijven te ronselen.

Gevolgen voor ASML en internationale politiek
De regering-Trump wil de Chinese chipambities dwarsbomen. Al tijdens zijn eerste ambtstermijn drong Trump er bij Nederland op aan de verkoop van ASML's EUV-machines aan China te blokkeren. Zijn opvolger destijds, Joe Biden, kondigde vanaf 2022 een breed exportverbod af voor DUV- en EUV-machines. Nadat berichten over de Chinese doorbraak naar buiten kwamen, daalde het aandeel ASML circa 10 procent in twee dagen tijd. Het Amerikaanse Congres beraadt zich momenteel over wetgeving die ook de resterende export van ASML's DUV-machines naar China zou kunnen blokkeren.

China bouwt eigen chipmachines (@Gemini-AI-impressie)